Lo mejor de la tecnología de células solares TOPCon es que el proceso de fabricación es tan similar al de las células solares PERT que los fabricantes pueden actualizar sus líneas de producción existentes con solo una pequeña inversión. La mayoría de los equipos de fabricación pueden seguir siendo los mismos. Esto convierte a las células solares TOPCon en una excelente inversión para los fabricantes de módulos fotovoltaicos PERC/PERT que ya están en el mercado.
1. El primer paso en la fabricación de celdas solares TOPCon es texturizar químicamente la superficie de la oblea usando hidróxido de potasio (KOH) para eliminar los daños causados por la sierra durante el corte de la oblea c-Si.
2. Después de limpiar la oblea, se forma en la parte frontal de la celda mediante la aplicación de tribromuro de boro (BBr) mediante el método de difusión, pero luego se elimina la parte posterior mediante la aplicación de ácido nítrico y ácido fluorhídrico (HF/HNO), y se produce un óxido ultrafino mediante una capa de inmersión química húmeda.
3. Para hacer crecer la capa de nPoly-Si, se hace crecer una capa de silicio amorfo dopado con fósforo (na-Si:H) mediante un proceso de deposición de vapor químico mejorado con plasma (PECVD). Luego se convierte en una capa de nPoly-Si después del recocido a 900ºC. + +
4. Las células solares se limpian aún más y se aplican pasivación y recubrimientos mediante PECVD.
5. Finalmente, los contactos de plata/aluminio se recubren para su metalización mediante serigrafía, utilizando un método de cocción rápida con una temperatura máxima de 760ºC para la metalización.
Después de la fabricación de las células solares TOPCon, se realizaron caracterizaciones de la curva de células solares IV para evaluar su rendimiento.
Diagrama de flujo
La tecnología de celdas solares TopCon tiene una estructura y un proceso de fabricación similares a los de las celdas solares PERC, con solo unos pocos pasos adicionales, podemos entender uno de los flujos de su proceso.
